IEEE出品著作:半导体制造基础和过程控制
分享一份IEEE出品的著作《半导体制造基础和过程控制》,本书由两位美国知名专家撰写,长达近500页,详细地论述了半导体制造的基础知识、各个环节和过程。
报告主要内容
[*]半导体制造基本介绍
[*]各个环节及整合的分别介绍
[*]过程监测(关键监测点、晶片状态、设备状态)
[*]统计基础(概率分布、假设检验等)
[*]产能建模
[*]统计过程控制(SPC)
[*]统计实验设计
[*]过程建模
[*]高级过程控制
[*]工艺和设备诊断
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