DUV光刻机榨到极限!长鑫G6内存面积再缩30%:键合工艺首次登场
10月12日,国产DRAM厂商长鑫科技下一代内存技术平台G6的相关技术指标预测流出。信息显示,长鑫将继续采用DUV光刻工艺生产G6代内存,预计最快2028年推出,芯片单元面积较G5代缩减30%,字线、位线、有源区等多项核心间距指标进一步收紧,首次引入键合工艺,通过晶圆级混合键合实现DRAM存储阵列与外围逻辑电路解耦制造堆叠。长鑫预计年底推出融合相关解耦互联技术的新一代DDR5 RDIMM产品,目前已提前布局堆叠层数达64层以上的3D内存技术,预计2030年后推出的G7代产品可能转向4F²结构或3D内存架构。
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